泛林推出全球首款半导体制造设备维护协作机器人Dextro，获多家晶圆厂应用认可
本站 12 月 11 日消息，lam research 泛林集团当地时间昨日对其打造的世界首款专为半导体制造设备维护打造的协作机器人（本站注：collaborative robot）dextro 进行了介绍，并表示该型机器人已获全球多家先进晶圆厂应用。
▲ 图源泛林集团视频Dextro 协作机器人是一种位于推车上的可移动机械臂装置，由制造技术人员或工程师进行控制，借助各种“手部工具”能很好地完成三项关键设备维护任务：
在安装和压缩易损件时精度是人手的 2 倍；...