半导体巨头EUV光刻机数量揭秘，台积电过百，日本2nm公司崭露头角

半导体巨头中，EUV光刻机数量备受关注，台积电是唯一一家超过百台的企业，展现出强大的技术实力和市场份额，日本一家专注于制造2nm技术的公司也引人注目，这些企业的成功离不开对先进技术的持续投入和创新能力的不断提升，这些光刻机的数量和技术水平将直接影响未来半导体产业的发展方向和竞争格局。

在半导体制造领域，工艺节点越先进，对光刻设备的要求也越高。尤其是5nm及以下制程的量产，几乎完全依赖EUV（极紫外）光刻机。目前全球范围内仅有ASML能够提供此类高端设备，因此台积电、三星、Intel等头部厂商均需向其采购。

那么，在这些行业巨头中，谁掌握的EUV光刻机数量最多？调研机构BOFA发布的数据显示了从2021年至2025年的EUV光刻机分布情况：

作为全球最大的晶圆代工企业，并且长期领跑先进制程的量产进度，台积电近年来一直是EUV设备的最大买家。除2024年仅引进10台外，其余年份平均每年采购约25台，累计已超过107台，是目前唯一EUV数量突破百台大关的企业。

三星早在7nm节点便宣布率先导入EUV技术进行量产，因此其采购节奏也较为积极。除今年仅购入3台外，此前每年维持在10至15台之间，累计达55台，位居第二位。

值得一提的是，三星不仅在逻辑芯片生产中广泛使用EUV，在DRAM等内存产品上也开始逐步引入该技术，进一步推高了设备需求。

SK海力士过去三年对EUV的投入较少，但近两年明显加速布局，集中订购了共计26台EUV光刻机，展现出强劲的增长势头。

Intel曾一度对EUV技术应用持保守态度，直到转向Intel 4工艺后才正式启用EUV。前任CEO帕特·基辛格推动的IDM 2.0战略中，甚至抢先全球下单下一代High NA EUV设备，成为首个签约客户。然而现任CEO陈立武上任后叫停了部分建厂计划，导致今年EUV采购为零。截至目前，Intel累计采购量为25台，比SK海力士少一台。

美光由于主营内存与NAND闪存产品，此前并未迫切需要EUV工艺支持，直到今年才首次购入5台，总量仍处于较低水平。

此外，有一家新兴企业不容忽视——日本Rapidus。尽管公司成立仅两年，却立下雄心壮志：目标在2027年实现2nm工艺的量产。 为此，他们已提前订购EUV光刻机用于研发，并在今年公开展示了2nm晶圆成果，技术进展引发关注。

一旦其技术路线顺利推进，未来对EUV光刻机的需求势必大幅上升。